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공정개선 활동

배출원 관리를 통한 공정개선

천안사업장은 배출원 관리를 통해 생산공정에서부터 환경오염물질을 관리하는 활동을 실시하고 있습니다. 화학물질 사전평가, 환경영향평가제도 등을 통하여 폐수, 대기, 폐기물의 성상을 구분하고 있습니다. 일부 ETCHING공정의 POWDER에 의한 배기배관 막힘, PHOTO공정의 폐수 배관 막힘 현상에 대하여 성상구분 및 배관분리 등을 통하여 문제를 해결하였습니다.

ETCHING 공정 개선사례
[ ETCHING 공정 개선사례 ]
PHOTO 공정 개선사례
[ PHOTO 공정 개선사례 ]

쾌적한 주변 환경 조성을 위한 악취개선활동

특히, 악취관련 환경민원이 사회 전반적 관심사로 대두됨으로 사전 개선계획을 수립하여 냄새 없는 쾌적한 사업장 구현을 위해 지속적 개선활동을 실시하고 있습니다.
특히, 악취관련 환경민원이 사회 전반적 관심사로 대두됨으로 사전 개선계획을 수립하여 냄새 없는 쾌적한 사업장 구현을 위해 지속적 개선활동을 실시하고 있습니다.

악취 비산 방지를 위한 돔형 폐수처리장(탕정사업장)
[악취 비산 방지를 위한 돔형
폐수처리장(탕정사업장)]

기초시설 개선, 냄새제거 전용 설비 신규설치, 발생원 근원적 제거, 전문화/특성화 오염도분석 및 Monitoring 활동 등이 주요 이행실적입니다.

탕정사업장에서는 폐수종말처리장에서 발생하는 악취를 저감하기 위한 활동을 지속적으로 시행하고 있습니다. 처리장의 반응조들은 모두 상부를 복 개하고 각각 설치된 배기 덕트를 통하여 악취를 포집한 후, 악취 저감시설에서 처리를 한 후 대기중으로 배출 될 수 있도록 되어 있습니다. 또한, 기획 단계에서 예상하지 못했던 미량의 악취까지 제거하기 위해 침전조 상부도 밀폐시켜 근원적인 악취발생을 억제 하고 있습니다.

LCD 폐수 내 포함된 악취 성분중 주요 성분인 황화합물을 효율적으로 제거하기 위해서 악취 저감시설은 약액 세정과 화학산화를 동시에 수행할 수 있는 습식 세정탑을 설치 운영함으로써 냄새 없는 폐수처리장을 실현하였습니다.

폐액 원류개선을 통한 오염물질 배출저감

탕정사업장은 라인 내 폐수, 배기, 폐액의 최적 원류구분 관리에 의한 오염물질 배출 최소화, 재활용률 향상을 지속하고 있으며, 신규 ITEM을 발굴하여 추진하고 있습니다. 주요 추진사례는 LCD Strip 공정의 PRS-2000 화학약품 배기를 응축액으로 회수하여 폐수 및 대기오염물질 배출을 원천적으로 저감하고, 이 응축액을 정제하여 약품 원료로 재활용하고 있습니다. '05년도에 900톤의 PRS-2000 응축액을 재활용하였습니다. 앞으로도 지속적으로 개선 ITEM을 개발하여 공정에 적극 도입할 예정입니다.

고효율 폐가스 제거 시스템

대기 배출물질 중 입자상 물질의 경우 유해가스, 악취, 백연 등의 원인으로 작용할 수 있습니다.

반도체 총괄은 기존에 적용된 처리 시스템보다 이를 효과적으로 저감하는 기술을 개발하였습니다. 새로 개발된 시스템은 가스상 오염 성분 및 미세 입자 모두를 제거할 수 있도록 요소 기술을 접목함으로써 반도체 배기가스의 정화 효과를 배가시켰습니다.

오염물질을 포함하는 입자의 생성을 촉진하여 미제거 입자와 생성된 미세입자의 응집 및 성장을 유도한 후에, 성장한 입자의 제거를 동시에 이룰 수 있도록 하였습니다. 삼성전자는 향후에도 이와 같은 새로운 기술 개발을 통해 환경 친화에 앞장서는 선도적인 역할을 수행할 수 있도록 노력하겠습니다.

폐수 처리수 Ca제거기술 개발(Ca-Free)

반도체 제조공정에서는 다양한 성상의 폐수가 발생되며, 이러한 폐수를 처리하기 위해서 기흥 및 화성사업장내에는 폐수처리장이 운영되고 있습니다. 본 폐수처리장에서는 우리 고유의 친환경 처리공법의 신기술인 Ca제거 기술을 개발하였습니다. 일반적으로 고농도 불산폐수를 처리하기 위해사용되던 Ca(OH)2를 대신하여 Na2CO3를 이용함으로써 Ca(OH)2의 사용량 절감 및 폐수처리시 발생하는 슬러지의 재이용을 통해 폐기물 발생량을 획기적으로 저감하여 환경오염 방지에 크게 기여하였고, 또한, Ca(OH)2와 더불어 고순도의 불소제거제의 사용이 불필요하게 되었습니다. 폐수처리 신기술 개발을 통해 원가 절감 및 환경오염 예방의 효과를 모두 거두게 되었습니다.

액정 TRAY 개선을 통한 폐기물 발생량 절감

기흥사업장에서는 사용하는 중소형 액정 Tray는 각 126종의 Device 전용 Tray를 별도 제작하여 사용하였으나 공용 Tray를 개발하여 Tray수절감 및 액정 사용량 절감, Tray 관리 용이 등 환경, 안전측면에 다방면으로 개선할 수 있게 되었습니다. 특히, 액정은 자체 유해성은 적으나, 소각 처리 시 많은 CO2 방출되어 문제가 될 소지를 제거하였습니다. 또한 액정 사용량이 25%로 감소되어 원가절감에도 기여하게 되었습니다.

악취, 폐기물감소 친환경 Stripper 개발

기흥사업장에서는 Strip 공정에 악취 유발물질인 DMSO등 물질 4종을 대체 할 수 있는‘기능성 New Chemical 개발'로 사용 Chemical 절감 및 폐기물이 대폭 감소하였습니다.

또한, 신규 Chemical을 Recycle 가능하도록 Test 진행하여 환경부하를 최소화하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 기 사용했던 DMSO는 황 함유물이 포함되어 악취가 미량 발생하였지만 사용하지 않게 됨으로 비용 절감과 악취 원인 요인을 차단하게 되어 주변 환경 개선 및 청정 사업장을 구현 하였습니다.

TMA, TEMAHf Refill system 개발

반도체총괄은 자연발화, 폭발성, 고점도 성질을 갖는 반도체용 신물질(TMA, TEMAHf)에 대하여 공급시스템을 개선하였습니다. TMA, TEMAHf를 정량으로 자동으로 공급되는 안정화된 Chemical 시스템으로 바꾸어 폐잔량을 Zero로 실현하였습니다. 이로써 용기 교체 시 발생 가능한 TMA,TEMAHf 누출 및 작업자의 실수 등의 잠재적 위험요인을 제거하였으며, 폐 Chemical 양을 절감하는 효과를 거두었습니다.

설비개선을 통한 CHEMICAL 사용량 절감

천안사업장은 Chemical 사용량 절감을 통한 환경개선활동의 일환으로 TFT PHOTO PR과 CF PGMEA 사용량 절감 Project를 진행하였습니다. TFT PHOTO PR의 경우 지속적으로 PR을 분사하는 MMN 노즐에서 일정한 Gap을 유지하며 PR을 분사하는 SLIT노즐로의 변경을 통하여 GLASS 1매당 PR사용량을 80cc에서 60cc로 절감시켰습니다.

C/F PGMEA의 경우 신액사용량의 감소, 순환액 사용량 증가, 세정시퀀스 동일화 등을 통하여 GLASS 1매당 PGMEA 사용량을 178cc에서 142cc로 절감시켰습니다.

본 Project 진행을 통하여 년간 폐액발생량을 405,900리터를 감소시켰습니다.

TFT PHOTO PR절감
[ TFT PHOTO PR절감 ]
CF PGMEA PR절감
[ CF PGMEA PR절감 ]

PBA 프로세스 혁신을 통한 유기용제 사용량 최소화

기존 IPA & FLUX를 사용한 PBA 납땜방식을 Screen & Reflow 방식으로 변경하여 FLUX 접촉 불량으로 인한 불량률 및 RETOUCH, 납땜 JIG 등 PBA 공정시 낭비되는 요인을 제거하였습니다. Screen & Reflow 방식 적용으로 공정에서 사용된 IPA & FLUX 사용량을 획기적으로 줄여 발생되는 폐기물을 최소화 하였습니다.

Screen & Reflow 방식의 PBA 공정 모형도

폐기물 저감을 위한 금형 개발을 통한 사출 Scrap 감소

구미사업장은 휴대폰 사출 성형 과정에서 금형 구조에 따른 사출 Scrap 폐기물 발생으로 제품 단가 상승요인이 되고 있어 환경개선 및 원가 절감의 두 가지 목표를 달성하기 위해 Hot Runner 기술 적용 및 Gate-way Size 축소형 금형기술 개발을 통해 사출 폐기물 발생량을 절감하였습니다.

추진 내용은 2 Cavity 금형에 대해 제품 구조상 Hot Runner 구현이 어려운 3단 금형 구조를 개선하여 Scrap 부위를 Hot Runner화한 Runner less형 금형 개발을 통한 개선으로 휴대폰 사출 협력회사 전체에 적용토록 하였습니다. 이 적용결과로‘원자재 사용 절감 9.2g/개', 개선효과로 46억 원/년의 절감효과를 얻었습니다.

3단 Cold Runner 금형
[ 3단 Cold Runner 금형 ]
Runner Less Hot Runner 금형
[ Runner Less Hot Runner 금형 ]

폐기물 저감을 위한 금형 개발을 통한 사출 Scrap 감소

구미사업장은 휴대폰 사출 성형 과정에서 금형 구조에 따른 사출 Scrap 폐기물 발생으로 제품 단가 상승요인이 되고 있어 환경개선 및 원가 절감의 두 가지 목표를 달성하기 위해 Hot Runner 기술 적용 및 Gate-way Size 축소형 금형기술 개발을 통해 사출 폐기물 발생량을 절감하였습니다.

폐숄더(Solder) 재생 장비
[ 폐숄더(Solder) 재생 장비 ]

추진 내용은 2 Cavity 금형에 대해 제품 구조상 Hot Runner 구현이 어려운 3단 금형 구조를 개선하여 Scrap 부위를 Hot Runner화한 Runner less형 금형 개발을 통한 개선으로 휴대폰 사출 협력회사 전체에 적용토록 하였습니다. 이 적용결과로‘원자재 사용 절감 9.2g/개', 개선효과로 46억 원/년의 절감효과를 얻었습니다.