대기오염저감

대기배출물 관리
삼성전자(주)는 반도체 제조공정에서 배출되는 물질의 환경영향을 최소화 하기 위해 성상(알카리/산/유기)에 따른 최적의 방지시설을 도입하여 운영하고 있습니다. 법규준수 뿐만 아니라 대기배출 최소화를 위하여 처리시설을 다단계로 구축 운영하여 2008년도 대기유해물질 배출량을 2001년도 대비 62% 감소시켰습니다.
또한 대기오염물질 배출농도 저감뿐 아니라 배출량 감축을 위한 새로운 방식의 청정기술 연구개발 활동을 추진하고 있습니다. 대기 배출물질 농도의 사업장 내부 관리기준은 환경법(대기환경보전법)에서 제시한 법적 기준치의 30% 이하로 규정하고 있으며 실제 배출 농도는 20% 이하로 관리되고 있습니다.
FAB 공정설비→공정후 배출가스→대기방지 시설→대기배출
생산량 당 대기유해물질 배출량,
2001년 대비 생산량 당 대기유해물질 배출량 약 62% 감축
[그래프] 2001년:100%, 2002년: 100%, 2003년:약85%, 2004년:약82%, 2005년:약88%, 2006년:약77%, 2007년:약24%, 2008년:약38%. ※ Normalized Production Index for Air Pollutants : 생샨량 당 대기오염물질(HF, HCI) 배출량 저감 비율(2001년을 100으로 환산한 값)
화학물질 배출량 관리
삼성전자(주)는 반도체 제조공정에서 발생되어 환경(대기·수계·토양)으로 배출되거나 폐수와 폐기물에 섞여 이동되는 화학물질의 양을 실시간으로 조사, 관리하고 있습니다. 화성사업장의 경우, 대기오염방지시설 개선, 공정개선 등의 노력을 통해 '01년에서 '07년사이 화학물질 사용량은 5.4배 증가하였으나, 배출량은 82.8% 대폭 감소하였습니다.
* 원단위(배출량/사용량 비율)는01년 1.14%에서 '07년 0.03%로 감소
자발적 협약 참여
삼성전자(주) 기흥사업장은 2009년 6월 25일 한강유역환경청과 화학물질 배출량 저감을 위한 자발적 협약(30/50프로그램)을 체결하였습니다. 자발적 협약이란 화학물질 배출량을 2007년 기준으로 3년 이내에 30%, 5년 이내에 50% 감축하는 기업, 시민단체, 정부간 프로그램입니다.
삼성전자(주) 기흥사업장 대기배출량 중 가장 큰 비중을 차지하는 IPA(이소프로판올)을 대상으로, 처리시스템 효율 최적화 활동 및 공정 개선을 통해 '07년 대비 '11년까지 30%, '13년까지 50% 감축할 계획입니다.
배출량 저감 사례
  • 대기 처리시스템 개선 : 효율이 높은 최신 대기 처리시스템 도입
  • 사용량 절감 : 공정내 개선을 통해 IPA(이소프로판올), 암모니아 사용량 절감
                       배출되는 폐IPA(이소프로판올)를 재사용하여 메탄올 사용량 절감
  • 폐기물 이동량 절감 : 화학물질 저장용기 사용 후 리사이클을 통해 폐기물 저감
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