활동 개요 및 성과
삼성전자㈜ 반도체는 관련 국내외 법규의 준수는 물론, 제조단계의 환경영향을 최소화 하기 위해 지속적인 개선활동을 시행하고 있습니다. 특히, 전지구적인 기후변화 대응을 위하여
세계반도체협회(World Semiconductor Council : WSC)의 PFC 배출량 저감에 대한 자발적 협약 및 지방자치단체(경기도)와 "에너지절약 및 온실가스 저감을 위한 자발적협약 (Voluntary Agreement)"을 체결하고 이의 이행을 위해 지속적인 최선의 노력을 다하고 있습니다.
이러한 노력의 성과로 삼성전자㈜ 반도체는 에너지 절감 활동을 통해 2002년부터 2008년까지 약 52만톤의 CO2를 감축했고, 반도체 제조공정에서 사용되는 온실가스인 PFC 배출량 감축 활동을 통해 1997년 부터 2008년 까지 약 568만톤의 CO2를 감축하였습니다.
에너지 절감 및 PFC 감축 목표
| 온실가스 |
배출원 |
점유율 |
감축목표 |
| 에너지 |
전력 |
건물/시설 |
51% |
2010년까지 2004년 기준 에너지 원단위 30% 감축 |
| LNG |
보일러 |
4% |
| PFCs |
반도체 제조 |
45% |
2010년까지 1997년 기준 PFC 총량 10% 감축 |
PFCs (PerFluoro-Compounds : 과불화합물) : 반도체 공정에서 사용하는 불소계 가스로 대기로 배출 시 지구 온난화에 영향을 주는 물질임.
CF4, C2F8, C3F8, CHF3, SF8, NF3 등이 있다.
에너지 절감 및 PFC 감축 성과
에너지 : 에너지 감축율 (2001년 : 173, 2004년 : 100, 2008년 : 75, 2010년 : 70 - 52만톤의 CO2 감축)
- 제조시설 절감활동 : 신규라인 기존 대비 25% 절감 (저전력 시설 등), 기존라인 사용량 최적화 활동 (페열 활용 등)
- 생활 속 절감활동 : 조명 절전(한등 끄기, 중식시간 Off등), 대기 전력 Zero화 활동 (모니터 Off등)
PFCs : PFCs 배출율 (1997년 100%, 2004년 71%, 2008년 27%, 2010년 10% - 568만톤 CO2감축)
- 감축방법 : 처리시설 적용 (90% 감축), 제조공정내 PFCs 분해율 항상 (약 90% 감축), PFCs 사용량 최소화
- *배출율 = PFCs 감축량 / PFCs배출량
620만톤 CO2감축 = 20억 그루의 나무를 심은 효과