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DS부문 온실가스 직접 배출 감축

DS부문은 공정가스와 LNG 연료 사용에서 발생하는 Scope 1 배출을 저감하기 위해 생산 설비와 공정 전반의 구조적 혁신을 지속적으로 추진하고 있습니다. 공정가스 통합처리시설(RCS, Regenerative Catalytic System) 확대, 지구온난화 지수(GWP, Global Warming Potential)가 낮은 대체가스 개발, 폐열 회수 기반의 연료 절감 활동 등을 동시에 추진하며 직접 배출 감축 체계를 강화하고 있습니다.

DS부문 탄소포집 및 활용 기술

공정가스 관리

DS부문은 공정가스 배출량 감축을 위해 다양한 활동을 진행 중이며 관련 투자를 지속 확대하고 있습니다.

  • 공정가스 처리

    • 공정가스 대용량 통합처리 시설(RCS) 설치 확대
    • 신규 촉매 개발·적용, 공정가스 처리효율 향상: 3세대 촉매 개발 및 현장 적용을 통해 PFCs* 처리효율 97% 달성
    • Perfluoro Compounds
  • 온실가스 대체가스 개발

    • 공정가스 지구온난화지수가 낮은 대체가스 개발, 일부 제품의 공정에서 PFCs가스 대체
    • 2018년부터 C4F8를 대체하는 G1가스 개발 및 적용 중
    • CF4를 대체하는 G3가스를 개발하여 2025년부터 적용 중
    • 2026년부터 CHF3를 대체하는 G2가스를 도입하여 추가 감축 추진 예정

공정가스 대용량 통합처리 시설

DS부문은 반도체 업계 최초로 개발한 공정가스 대용량 통합처리시설인 RCS를 양산 라인에 확대 적용하였습니다. 2025년에는 생산∙연구 라인 2개에 RCS 3대를 추가 도입하여, 현재 총 55대를 운영하고 있습니다. 또한 PFCs 처리효율 97% 수준의 3세대 촉매를 사업장 내 25%까지 횡전개하였으며, 2026년까지 100% 확대 적용할 계획입니다. 향후에도 DS부문은 신규 생산라인은 물론, 설치가 불가능한 일부의 경우를 제외한 기존 라인에도 RCS 설치를 지속적으로 확대해 나갈 계획입니다.

연료 절감

DS부문은 연료 사용량 저감을 위해 공정 운전 최적화, 폐열 회수 확대, 비연료형 설비 도입을 핵심 전략으로 추진했습니다. 대표적으로 신규 생산라인에는 공업용 폐수 배출 전 열회수 설비를 추가 적용하고, 냉각수 폐열을 사계절 내내 외조기 승온에 활용하도록 설계하여 LNG 사용량을 최소화하였습니다. 이러한 열회수 설비 적용 확대 및 운영 최적화를 통해 폐열 활용을 지속적으로 확대하고 있습니다. 그 결과 2025년 기흥·화성·평택사업장의 폐열 사용률은 기존 51%에서 55%로 향상되었습니다. 향후 이러한 폐열 회수 시스템을 기존 라인까지 확대 적용하여 전 사업장의 열 에너지 활용 효율을 지속적으로 높이고, 그 중 평택 사업장에서는 인근 소각장에서 발생하는 폐열 등 외부로부터 공급되는 열 에너지까지 활용할 계획입니다. 이에 더해 일부 공정의 열교환기에서 사용된 냉수는 히트펌프를 통해 온수를 생산하여 기존 LNG 기반 열원을 대체하는 비연료형 설비를 운영할 예정입니다.

  • LNG 사용량 절감

    • 설비 냉각수 폐열 회수
    • 히트펌프 개발을 통한 폐열 회수 효율화
    • LNG 기반 열원 대체 가능 설비 도입 검토

무공해차 전환

DS부문은 온실가스 직접 배출량을 감축하기 위해 무공해차(전기차, 수소차)로 전환하고 있으며, 2025년까지 누적으로 총 157대의 차량을 전환하였습니다.

업데이트 2026.06.26