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DS부문 온실가스 직접 배출 감축

DS부문은 반도체 제조공정에서 발생하는 공정가스 및 LNG와 같은 연료 사용으로 인한 온실가스 직접 배출량(Scope 1)을 최소화하기 위해 다양한 노력을 기울이고 있습니다. 먼저, 공정가스 처리효율을 대폭 개선할 수 있는 온실가스 배출 저감 기술을 적용하고, 폐열 활용을 적극 확대하고 있습니다.

DS부문 탄소포집 및 활용 기술

공정가스 관리

DS부문은 공정가스 배출량 감축을 위해 다양한 활동을 진행 중이며 관련 투자를 지속 확대하고 있습니다.

  • 공정가스 처리

    • 공정가스 대용량 통합처리 시설(RCS) 설치 확대
    • 신규 촉매 개발·적용, 공정가스 처리효율 향상: 3세대 촉매 개발 및 현장 적용을 통해 PFCs* 처리효율 97% 달성
    • * Perfluoro Compounds

  • 공정가스 사용량 절감

    • 공정가스 투입량 최소화 위한 공정 시간, 공정 단계 등 최적 Recipe 적용
    • 반도체 8대 공정 중 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition, CVD) 공정 개선 → 공정 레시피 최적화1) 및 부산물 감축 레시피 방법론2) 적용을 통한 MISO(Minimum Input Stable Output) 기술 개발
      • - SiON 공정의 NF3 사용량 절감 레시피 개발을 통해 NF3 사용량 약 25% 절감
      • - CVD 전 공정 대상의 N2O 사용량 감축 활동을 통해 2020년부터 지속적으로 온실가스 배출량 감축
    • Fully Optimized Recipe, FOR
    • Byproduct Free Recipe, BFR

  • 온실가스 대체가스 개발

    • 공정가스 지구온난화지수가 낮은 대체가스 개발, 일부 제품의 공정에서 PFCs가스 대체
    • 2018년부터 C4F8를 대체하는 G1가스 개발 및 적용 중
    • CF4를 대체하는 G3가스를 개발하여 2025년부터 적용 중

공정가스 대용량 통합처리 시설

DS부문은 반도체 업계 최초로 공정가스 대용량 통합처리시설인 RCS를 개발하여 사용 중입니다. RCS는 설비에서 사용된 모든 배출가스가 옥상을 통해 배출되는 구조를 활용한 시설로, 촉매를 사용해 공정가스를 통합 처리합니다. 기존 개별처리시설과 비교했을 때 낮은 온도에서도 공정가스 처리가 가능하여 연료 사용을 절감할 수 있고 대기오염물질(질소산화물) 발생도 적다는 장점이 있습니다.

2024년에는 1개 생산 라인에 4대의 RCS를 추가 설치하여 누적 52대가 설치되었습니다. 또한 3세대 촉매를 개발하고 현장에 적용함으로써 PFCs 처리효율을 97%까지 향상하였습니다. DS부문은 앞으로도 신규 생산 라인은 물론, 설치가 불가능한 일부의 경우를 제외한 기존 라인에도 RCS 설치를 지속적으로 확대해 나갈 예정입니다.

RCS 처리 과정 알아보기

  • (1) 전처리 스크러버

    고농도 산성가스
    처리

  • (2) RCS 설비

    촉매를 이용하여
    저온에서
    PFCs(과불화화합물)
    분해

  • (3) 후처리 스크러버

    HF(불화수소)
    후처리

  • (4) 산 스크러버 1차

    세정시설로
    산성가스 1차 처리

  • (5) 산 스크러버 2차

    대기오염물질 배출
    최소화 위해
    산성가스 2차 처리

연료 절감

DS부문은 사업장 내 연료 사용량을 절감하기 위하여 운전 최적화, 폐열 회수, 비연료형 설비 개발을 적극 추진중입니다. 특히, 신규 라인에서는 공업용 폐수 방류 전 폐열 사용을 확대하고, 냉각수의 폐열을 동절기 뿐 아닌 연중 내내 사용하여 외조기 승온을 억제하도록 설계함으로써 2024년까지 기흥·화성·평택사업장 폐열 사용률을 51%까지 확대하였습니다. 향후에 폐열 회수를 기존 라인까지 확대 검토하고, 신규 라인은 폐열사용율을 70%에서 90%이상까지 확대할 계획입니다. 또한, LNG 기반 열원을 대체할 수 있는 설비를 도입하여 지속 확대해 나갈 계획입니다. 이를 통해 사업장 내 온실가스 직접 배출량을 최소화 할 수 있도록 노력하겠습니다.

  • LNG 사용량 절감

    • 설비 냉각수 폐열 회수
    • 히트펌프 개발을 통한 폐열 회수 효율화
    • LNG 기반 열원 대체 가능 설비 도입 검토

무공해차 전환

DS부문은 온실가스 직접 배출량을 감축하기 위해 무공해차(전기차, 수소차)로 전환하고 있으며, 2024년까지 누적으로 총 106대의 차량을 전환하였습니다.

업데이트 2025.06.27